砷磷尾气处理设备Scrubber

这款湿法尾气处理设备是专门为砷化镓MOCVD设备设计，有4入口和6入口：

• 设备型号：4入口 HSL-AP1001
• 外观尺寸：2590mm(L)*1360mm(W)*2400mm(H)
• 废气处理能力：10L/min 磷烷，2L/min砷烷(以 AIXTRON G4 MOCVD系统的进气量为参考标准)
• 进气口：KF50，4入口
• 总进气量：1000L/min
• 处理效率：AsH3<50ppb PH3<50ppb

• 设备型号：6入口 HSL-AP1501
• 外观尺寸：3300mm(L)*1600mm(W)*3000mm(H)
• 废气处理能力：10L/min 磷烷，4L/min砷烷(以 AIXTRON G4 MOCVD系统的进气量为参考标准)
• 进气口：KF50，6入口
• 总进气量：1500L/min
• 处理效率：AsH3<50ppb PH3<50ppb

其他参数请联系我们获取，谢谢！