氨气、ICP\PECVD 湿法尾气设备

氨气尾气设备——HSL-NH1500
  • ​​​​​​设备型号:HSL-NH1500

  • 外观尺寸:1460*1050*2080mm

  • 废气处理能力:NH3,500L/min MAX

  • 进气口:KF50,4入口

  • 总进气量:1500L/min

  • 处理效率:92%(水)99%(化学药液)

 

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